在超纯水系统中，TOC（Total Oxidizable Carbon/总有机碳）的降解至关重要，UV系统被广泛用于降解有机物。使用特殊石英材质的紫外线灯管可以发出比254nm波长更短、能量更高的185nm波长。采用UV-185nm低压高能紫外技术，并结合UV-254nm紫外线杀菌器，通过高剂量的UV-185紫外线催化，在水中产生.OH翔基自由基，对水中的有机物进行氧化降解，以达到水中TOC的含量。
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